洛陽中硅高科攻克9N級電子特氣技術(shù)|國產(chǎn)芯片材料實現(xiàn)進口替代突圍
導(dǎo)語
【國產(chǎn)芯片材料重大突破】中國電子化工領(lǐng)域迎來里程碑進展!洛陽中硅高科技有限公司近日宣布,其自主研發(fā)的"硅基材料超高純制備關(guān)鍵技術(shù)"通過國家級科技成果認證,成功打破美日德長達20年的技術(shù)壟斷,國產(chǎn)電子特氣材料正式邁入國際第一梯隊。
"卡脖子"破局:芯片制造用上國產(chǎn)"工業(yè)血液"
作為芯片制造的核心基礎(chǔ)材料,超高純硅基材料(含電子級三氯氫硅、四甲基硅烷等)被稱為"芯片工業(yè)的血液"。此前我國90%依賴進口,單價超5萬元/公斤,且面臨隨時斷供風(fēng)險。中硅高科聯(lián)合清華大學(xué)、浙江大學(xué)等機構(gòu)歷時5年攻關(guān),首創(chuàng)分子篩深度提純技術(shù),實現(xiàn)純度達99.9999999%(9N級)的突破。
核心技術(shù)突破:純度達9N級創(chuàng)全球新高
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技術(shù)指標:電子級三氯氫硅純度超國際標準,適配28納米以下先進制程
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專利布局:累計申請發(fā)明專利56項,構(gòu)建從提純設(shè)備到檢測的全鏈條技術(shù)壁壘
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產(chǎn)線建設(shè):建成國內(nèi)首條全自主電子特氣生產(chǎn)線,年產(chǎn)能突破2000噸
國產(chǎn)替代效應(yīng):成本直降40% 覆蓋中芯/長存等大廠
目前該技術(shù)成果已在中芯國際、長江存儲等頭部芯片企業(yè)實現(xiàn)規(guī)?;瘧?yīng)用:
? 存儲芯片良品率提升12%
? 5G射頻器件生產(chǎn)成本降低40%
? 年替代進口材料超800噸
據(jù)測算,全面國產(chǎn)化后每年可節(jié)省外匯超50億元,保障國內(nèi)3000億芯片產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)安全。
院士點評:國際先進水平 加速培育新質(zhì)生產(chǎn)力
中國工程院專家組認證顯示,該技術(shù)整體達國際先進水平,其中:
? 電子特氣純度指標全球領(lǐng)先
? 設(shè)備國產(chǎn)化率超95%
? 能耗較傳統(tǒng)工藝降低30%
"這是國產(chǎn)芯片材料從跟跑到領(lǐng)跑的關(guān)鍵轉(zhuǎn)折。"項目評審組長表示。
企業(yè)動態(tài)
中硅高科透露,計劃投資20億元建設(shè)亞洲最大電子材料產(chǎn)業(yè)園,2026年前實現(xiàn)12英寸晶圓用材料全覆蓋,助推"中國芯"國產(chǎn)化率從15%提升至35%。